國瑞熱控清洗槽**加熱盤以全密封結構設計適配高潔凈需求，采用 316L 不銹鋼經電解拋光處理，表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm，無顆粒脫落風險。加熱元件采用氟塑料密封封裝，與清洗液完全隔離，耐受酸堿濃度達 90% 的腐蝕環境，電氣強度達 2000V/1min。通過底部波浪形加熱面設計，使槽內溶液形成自然對流，溫度均勻性達 ±0.8℃，溫度調節范圍 25℃-120℃。配備防干燒與泄漏檢測系統，與盛美上海等清洗設備廠商適配，符合半導體制造 Class 1 潔凈標準，為晶圓清洗后的表面質量提供保障。表面特殊處理工藝，耐腐蝕易清潔，適用于各種復雜工作環境。普陀區陶瓷加熱盤生產廠家

國瑞熱控薄膜沉積**加熱盤以精細溫控助力半導體涂層質量提升，采用鋁合金基體與陶瓷覆層復合結構，表面粗糙度 Ra 控制在 0.08μm 以內，減少薄膜沉積過程中的界面缺陷。加熱元件采用螺旋狀分布設計，配合均溫層優化，使加熱面溫度均勻性達 ±0.5℃，確保薄膜厚度偏差小于 5%。設備支持溫度階梯式調節功能，可根據沉積材料特性設定多段溫度曲線，適配氧化硅、氮化硅等不同薄膜的生長需求。工作溫度范圍覆蓋 100℃至 500℃，升溫速率 12℃/ 分鐘，且具備快速冷卻通道，縮短工藝間隔時間。通過與拓荊科技、北方華創等設備廠商的聯合調試，已實現與國產薄膜沉積設備的完美適配，為半導體器件的絕緣層、鈍化層制備提供穩定加熱環境。天津晶圓鍵合加熱盤嚴格出廠檢測流程，多項性能測試，確保每臺設備質量可靠。

針對等離子體刻蝕環境的特殊性，國瑞熱控配套加熱盤采用藍寶石覆層與氮化鋁基底的復合結構，表面硬度達莫氏 9 級，可耐受等離子體長期轟擊而無材料脫落。加熱盤內部嵌入鉬制加熱絲，經后嵌工藝固定，避免高溫下電極氧化影響加熱性能，工作溫度范圍覆蓋室溫至 500℃，控溫精度 ±1℃。底部設計環形冷卻通道，與加熱元件形成熱平衡調節系統，快速響應刻蝕過程中的溫度波動。設備采用全密封結構，電氣強度達 2000V/1min，在氟基、氯基刻蝕氣體環境中絕緣性能穩定，適配中微半導體刻蝕機等主流設備，為圖形轉移工藝提供可靠溫控。

國瑞熱控 12 英寸半導體加熱盤專為先進制程量產需求設計，采用氮化鋁陶瓷與高純銅復合基材，通過多道精密研磨工藝，使加熱面平面度誤差控制在 0.015mm 以內，完美貼合大尺寸晶圓的均勻受熱需求。內部采用分區式加熱元件布局，劃分 8 個**溫控區域，配合高精度鉑電阻傳感器，實現 ±0.8℃的控溫精度，滿足 7nm 至 14nm 制程對溫度均勻性的嚴苛要求。設備支持真空吸附與靜電卡盤雙重固定方式，適配不同類型的反應腔結構，升溫速率達 20℃/ 分鐘，工作溫度范圍覆蓋室溫至 600℃，可兼容 PVD、CVD、刻蝕等多道關鍵工藝。通過與中芯國際、長江存儲等企業的深度合作，已實現與國產 12 英寸晶圓生產線的無縫對接，為先進制程規模化生產提供穩定溫控支撐。持續改進服務理念，聽取客戶反饋，不斷提升產品性能。

國瑞熱控封裝測試**加熱盤聚焦半導體后道工藝需求，采用輕量化鋁合金材質，通過精密加工確保加熱面平整度誤差小于 0.05mm，適配不同尺寸封裝器件的測試需求。加熱元件采用片狀分布設計，熱響應速度快，可在 5 分鐘內將測試溫度穩定在 - 40℃至 150℃之間，滿足高低溫循環測試、老化測試等場景要求。表面采用防粘涂層處理，減少測試過程中污染物附著，且易于清潔維護。配備可編程溫控系統，支持自定義測試溫度曲線，可存儲 100 組以上測試參數，方便不同型號器件的測試切換。與長電科技、通富微電等封裝測試企業合作，適配其自動化測試生產線，為半導體器件可靠性驗證提供精細溫度環境，助力提升產品良率。創新熱傳導技術，熱量集中不散失，有效降低能源消耗成本。楊浦區陶瓷加熱盤

專業售后服務團隊，快速響應及時處理，保障您的生產不間斷。普陀區陶瓷加熱盤生產廠家

國瑞熱控快速退火**加熱盤以高頻響應特性適配 RTP 工藝需求，采用紅外輻射與電阻加熱復合技術，升溫速率突破 50℃/ 秒，可在數秒內將晶圓加熱至 1000℃以上。加熱盤選用低熱慣性的氮化鋁陶瓷材質，搭配多組**溫控模塊，通過 PID 閉環控制實現溫度快速調節，降溫速率達 30℃/ 秒，有效減少熱預算對晶圓性能的影響。表面噴涂抗熱震涂層，可承受反復快速升降溫循環而無開裂風險，使用壽命超 20000 次循環。設備集成溫度實時監測系統，與應用材料 Centura、東京電子 Trias 等主流爐管設備兼容，為先進制程中的離子***、缺陷修復工藝提供可靠支持。普陀區陶瓷加熱盤生產廠家

無錫市國瑞熱控科技有限公司在同行業領域中，一直處在一個不斷銳意進取，不斷制造創新的市場高度，多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準，在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的商業**，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環境，富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新，勇于進取的無限潛力，無錫市國瑞熱控科技供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰的準備，要不畏困難，激流勇進，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！