JJF1946-2022《鹵素檢漏儀校準規范》,規范條文解釋：本規范適用于可檢漏率為（1.0×10-6~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規范執行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準用標準器（鹵素標準漏孔）的可溯源范圍相適應，待發布的正壓漏孔校準規范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實際測量范圍（1-10）g/a對應。測量標準：測量標準為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標準漏孔，如表所示，鹵素標準漏孔應具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋：通常配備多個標準漏孔，一個標準漏孔對應一種示漏氣體，根據被校檢漏儀選擇相應的標準漏孔。標準漏孔連接接口有多種規格可供不同場景選擇。北京通道型標準漏孔出口多大

氦質譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數量進行量化，而到達質譜室離子源的氦氣分子數量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環境參數變化時，這個分流比會有變化，檢漏儀根據內置漏孔1個點做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺檢漏儀的內置漏孔是E-7mbarL/s，說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區間如[E-6,E-8]是可能準確的，可能到E-9就很不準確。建議用2個標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行標定。事實上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內置漏孔自檢的，而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標準漏孔進行標定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個接近該漏率的標準漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經過校準的檢漏儀不需要自檢通過也能準確的判斷產品是否合格。建議用戶在選購外置標準漏孔，盡量接近產品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標準漏孔。用戶可選用帶氣室的標準漏孔或開放式漏孔。無錫滲氦標準漏孔的漏率標準漏孔老化會導致漏率發生明顯變化 。

冷媒標準漏孔組(適用于計量院及第三方校準機構）R32/R410a/R22/R134a（常用的4種氣體），概述：鹵素檢漏儀是一種以氟、氯、溴等鹵族元素作為示漏氣體的檢漏儀器，其測量范圍一般為（0~300）g/a。解釋：為何3g/a較小可檢漏率即鹵素檢漏儀的靈敏度，是衡量檢漏儀性能的關鍵指標;鹵素標準漏孔一般溯源下限為(1~2)g/a;經咨詢大量鹵素檢漏儀用戶得知客戶關鍵側漏點為3g/a;每次校準前應確認本底對鹵素檢漏儀校準的影響，若本底過大，必要時開窗通風后清零，若無法通風，則等本底穩定后清零;校準時切忌鹵素檢漏儀附近風量過大，且盡量頂住標準器的泄漏口，確保鹵素標準漏孔的放出的示漏氣體全部被吸入。

隨著檢漏方法和技術發展，越來越強調檢漏的定量要求，舉例：產品質量管理體系要求，項目驗收要求，計量活動要求。所以標準漏孔被采用。但是在標準漏孔使用溯源方面存在著太多的定義方面的模糊甚至錯誤，根據本人多年在該領域的實際經驗特此做了一定的總結供行業人士參考。這里標準漏孔是廣義上的標準漏孔，是指所有檢漏儀和檢漏系統用來定量或量值溯源經過標定的漏率標準器。按照使用方式和分為：真空漏孔，正壓漏孔和壓差漏孔。本資料漏率不僅限于真空檢漏量值的溯源。標準漏孔需按規范定期進行性能校準與核查。

氣泡檢漏法氣泡法是出現比較早的檢漏方法，以其操作簡單，成本低廉而得到廣泛應用。其原理是當漏孔兩側存在壓差時，氣體就會通過泄漏點從高壓側向低壓側流動，如果將被測件放入液體中，將會出現氣泡，通過觀察氣泡產生位置可以確定泄漏點位置，通過收集氣體或者數氣泡的方法測量漏率。使泄漏點兩側產生壓差的方法有三種：充氣法，熱槽法和抽真空法。充氣法首先向被檢件中沖入氣體，使其壓力上升到規定值，然后將被檢件放入液體中，觀察氣泡。這樣的檢測結果很大程度上取決于測試者本人的判斷，而且光憑氣泡很難確定出泄漏率的大小。同時這些方法還可能帶來另外一些問題，如對被測物進行拆卸，清洗，烘干，涂防銹漆等額外工作。標準漏孔使用后需清潔并妥善保存備用 。南京非標漏孔定制

標準漏孔在半導體制造檢漏中經常使用。北京通道型標準漏孔出口多大

標準漏孔的漏率換算：1mbar.L/sec=0.1Pa.m3/sec=1/1.013atm.cc/sec=0.987std.cc/sec(標準體積)=59.23scc/min、1mbar.L/sec≈1cc/sec,直觀的來說,1mbar.L/sec≈1秒鐘泄漏1cc標準體積氣體、23℃,某氣體分子量=m,它的泄漏率為Xmbar.L/s，換算成克/年見如下公式:Xmbar.L/s=(X*365*86400)/(22.413*1000)*(273/(273+23))*m*(1/1.013)(克/年)，漏孔壓力：一般分為表壓(相對大氣壓的壓差)和絕壓(相對真空的壓差)。漏孔絕壓：1個大氣壓+表壓。北京通道型標準漏孔出口多大